高真空擋板閥主要性能指標

高真空擋板閥適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）　
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）　
打開時閥板上的壓差：　
≤1.2×105 Pa任意方向　
高真空擋板閥閥體和閥座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1　
建議首次維修前循環次數：　200，000次　
閥體烘烤溫度：≤150℃　
安裝位置　
-手動驅動：任意-氣動驅動：任意　
-電磁驅動：任意（波紋管密封）；密封面朝向真空（氟膠圈密封）　
電源　
-氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規格可定做）　
-電磁驅動：交流220V或230V 50Hz，起動功率800W、保持功率8W　
壓縮空氣（只適用于氣動）：　
0.4～0.7MPa　
閥門開啟和關閉時間-氣動驅動：≤1s　
-電磁驅動：開啟≤0.1s；
關閉≤1s（氟膠圈密封）、關閉≤0.5s（波紋管密封）　
閥門位置指示　
-手動驅動：帶有啟閉位置指示　
-氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）　
-電磁驅動：帶有開啟位置指示燈

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